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硅粉氮化炉

高端氮化硅粉体烧结炉具有H2安全保护、防窜气技术、多段温度曲线设定，多种气体流量自动精准控制（无需人工调节）、脉冲式充气、气体循环控温、发热体衰减检测、发热体漏电监测、全面故障自诊断等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生产。
氮化硅气氛压力烧结炉

非接触式高温测量设计、具有真空系统过滤保护与独特的脱蜡系统及尾气处理设计。应用氮化硅等非金属陶瓷材料进行脱成型剂、气压烧结、产品致密化等。
陶瓷基片炉

陶瓷基片炉具有高稳定性、高人性化、低维护的特点，采用非接触式高温测量、真空系统过滤保护、独特尾气处理设计。主要用于氮化硅/氮化铝流延基片等先进材料进行真空，脱气、加压致密化等，广泛应用于航天航空、电子电器半导体等领域。
碳化硅重结晶烧结炉

碳化硅陶瓷制品重结晶烧结，同时还可兼容无压烧结以及反应烧结，为您的生产提供更多可能，满足不同工艺需求。

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