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地址:
湖南省株洲市天元区泰山西路2008号联合厂房八

氮化硅陶瓷基板炉
产品介绍
氮化硅陶瓷基板炉具有高稳定性、高人性化、低维护的特点，采用非接触式高温测量、真空系统过滤保护、独特尾气处理设计。主要用于氮化硅流延基板先进材料等进行真空，脱气、加压致密化等，广泛应用于航天航空、电子电器半导体等领域。
 
产品参数
装料空间（W*H*L） 600*600*1400
温度均匀性 ≤±4℃
最高工作温度 2200℃
最高工作压力 2MPa

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