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地址:
湖南省株洲市天元区泰山西路2008号联合厂房八

氮化硅粉体烧结炉
产品介绍
高端氮化硅粉体烧结炉具有H2安全保护、防窜气技术 、多段温度曲线设定，多种气体流量自动精准控制（无需人工调节）、脉冲式充气、气体循环控温、发热体衰减检测、发热体漏电监测、全面故障自诊断等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生产。
产品参数
装料空间（W*H*L） 500*500*1800
最高温度 1600℃
最高工作压力 0.9bar
极限真空度 0.5pa
真空泄漏率 ≤5×10-3 mbarl/s
真空泵组 旋片泵+罗茨泵
升温速率
(满载、≥1500℃）		 ≥8℃/min
温度均匀性 ≤±4℃
具备功能 真空烧结、静态烧结、气氛烧结、急速冷却
工艺气体种类 H2  N2  Ar


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